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雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術(shù)，容易受到外界環(huán)境干擾，微小的空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化從而影響測(cè)量結(jié)果，這是單頻干涉儀的一個(gè)根本弱點(diǎn)。在測(cè)試環(huán)境惡劣或測(cè)量距離較長(zhǎng)時(shí)，這一缺點(diǎn)十分突出，而雙頻激光…[詳情]

鐳測(cè)科技推出的LS600單頻激光干涉儀采用單頻測(cè)量技術(shù)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國(guó)外產(chǎn)品同等水平。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)對(duì)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測(cè)，是高精度線(xiàn)性位移測(cè)量、數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)的高效率量測(cè)工具。 系統(tǒng)組成…[詳情]

1、直線(xiàn)度測(cè)量原理 雙頻激光測(cè)頭輸出光經(jīng)過(guò)直線(xiàn)度干涉鏡，按偏振態(tài)被分成兩束，以一定角度發(fā)散后入射到直線(xiàn)度反射鏡。光束從直線(xiàn)度反射鏡返回，沿新光路回到直線(xiàn)度干涉鏡后，合成一束回到光線(xiàn)接收端，進(jìn)行干涉測(cè)量。通過(guò)檢測(cè)光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導(dǎo)軌相對(duì)于激…[詳情]

1、垂直度測(cè)量原理 垂直度測(cè)量的主要采用同一個(gè)測(cè)量基準(zhǔn)軸對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱(chēng)正交坐標(biāo)中的每一個(gè)軸測(cè)量直線(xiàn)度。對(duì)兩個(gè)直線(xiàn)度測(cè)量值進(jìn)行比較，算出兩個(gè)軸之間的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)是直線(xiàn)度反射鏡的光學(xué)基準(zhǔn)軸。需要注意的是，兩次測(cè)量直線(xiàn)度之間既不移動(dòng)也不調(diào)整。兩次直線(xiàn)度測(cè)量過(guò)程中至少一…[詳情]

1、平行度測(cè)量原理 平行度測(cè)量由兩組直線(xiàn)度測(cè)量組成，兩次測(cè)量都以直線(xiàn)度反射鏡的光學(xué)軸為參考基準(zhǔn)。需要說(shuō)明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個(gè)正交平面內(nèi)沿每個(gè)要被比較的軸測(cè)量直線(xiàn)度。因此，平行度或平行線(xiàn)測(cè)量實(shí)際是四次直線(xiàn)度測(cè)量，每次的步驟和方法同測(cè)量直線(xiàn)度一樣，如下圖所示…[詳情]

激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干…[詳情]

滿(mǎn)足計(jì)量檢測(cè)用戶(hù)更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻機(jī)用激光干涉測(cè)量系統(tǒng)為基礎(chǔ)， 在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時(shí)， 將光源和測(cè)量信號(hào)接收處理單元集成在主機(jī)里， 一體化設(shè)計(jì)為用戶(hù)提供更加方便、易用、友好的使用體驗(yàn)；[詳情]